M08000 - SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M80-0514 - Superseded

<qualification parameter spec(ification)>

system specification(s)

SEMI E132-0922 (designation update)

SEMI C93-0217 (preliminary status removed)

本スタンダードは，集積回路製造に使用されるマイクロパターニング装置，メトロロジ用器具およびプロセスに対して，量産適用可能な評価およびテスト方法を提供するために，幾つかの標準パターンを規定するものである。

M08000 - SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M80-0514 - Superseded <qualification parameter spec(ification)>SEMI SEMI Silicon Wafer Global Technical Committee2014124global Audits and Reviews Subcommittee20145www. semiviews. org www. semi. org20111120128 IC450 mmfront opening shipping Box: FOSB 450 FOSB450 FOSB IC450 FOSB450 FOUP Referenced SEMI Standards SEMI E144 Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Reader in Semiconductor Production and Material Handling Equipment SEMI E154 Mechanical Interface Specification for 450 mm